本文摘要：MEMS传感器是利用集成电路技术工艺和微机械加工方法将基于各种物理效应的机电脆弱元器件和处置电路构建在一个芯片上的传感器。具备体积小、质量重、功耗较低、灵敏度低、可靠性低、更容易构建以及耐险恶工作环境等优势，从而增进了传感器向微型化、智能化、多功能简化和网络化的方向发展。 MEMS振动传感器可用作机械中的振动和偏移、转子与机壳的热膨胀量的长年监测；生产线的在线自动检测和自动控制；科学研究中的多种微小距离和微小运动的测量等。

MEMS传感器是利用集成电路技术工艺和微机械加工方法将基于各种物理效应的机电脆弱元器件和处置电路构建在一个芯片上的传感器。具备体积小、质量重、功耗较低、灵敏度低、可靠性低、更容易构建以及耐险恶工作环境等优势，从而增进了传感器向微型化、智能化、多功能简化和网络化的方向发展。

MEMS振动传感器可用作机械中的振动和偏移、转子与机壳的热膨胀量的长年监测；生产线的在线自动检测和自动控制；科学研究中的多种微小距离和微小运动的测量等。MEMS振动传感器已普遍应用于能源、化工、医学、汽车、冶金，机器生产，军工，科研教学等诸多领域。

MEMS振动传感器作为获取信息的关键器件，对各种传感装置的微型化起着极大的推展起到。随着MEMS技术的较慢发展使得MEMS传感器受到各发达国家的普遍注目，争相将MEMS传感器技术作为战略性的研究领域之一，并制订涉及的计划并投放巨资展开专项研究。

近期，国家光电子中心圆满完成了清华大学科研成果——MEMS振动传感器样品的检测任务。MEMS振动传感器既是国家高技术研究发展计划(863计划)生产装备检测用多功能微纳传感器专项的科研成果，也是针对武汉锅炉股份有限公司关于在超高温条件下监测锅炉内振动环境拒绝的研制成果。科研成果竣工验收是科研创意的关键所在，检验检测则是科研成果竣工验收的主要手段。MEMS振动传感器归属于科研成果，在国内还没涉及的测试标准。

按照该项目竣工验收拒绝，国家光电子中心与项目科研人员充份沟通交流，融合国家相近类别设备标准明确提出检测方案，并通过检测结果表明该传感器已超过设计目标，突显了检验检测对科技创新的基础承托起到。MEMS传感器作为国际竞争战略的最重要标志性产业，以其技术含量低、市场前景辽阔等特点倍受世界各国的注目。近十年来，中国MEMS传感器产业生态系统也于是以逐步完善，从研发、设计、代工、封测到应用于，原始产业链已基本构成，国家对MEMS传感器行业也给与了前所未有的政策反对。

我国MEMS产业发展面对了根本性的机遇，尤其是移动互联网和物联网的较慢发展，将对MEMS产业产生深远影响的影响，并将促成大量新的产品、新的应用于，造就MEMS产品在日常生活及工业生产中的普及化。

本文来源：南宫28圈官网-www.kubernetek.com